为高端装备<br>配套高精密环境系列解决方案
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为高端装备<br>配套高精密环境系列解决方案

应用行业：芯片半导体、精密光学、精密测量、新能源、航空航天、通信技术<br>应用装备：半导体前道设备（光刻机、刻蚀设备等）、半导体后道设备（键合设备等）、半导体量检测设备、光学检测设备（激光干涉仪等）、原子钟等

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