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半导体行业温控专家：高达±0.002℃精密恒温恒湿箱

发布时间：

2025-04-09

择极测精密温控设备，为半导体制造的高精度生产保驾护航。

在半导体制造领域，精度就是一切。南京拓展科技旗下企业，极测（南京）技术有限公司的高精密环控系统（精密恒温恒湿箱），以其 ±0.002℃的高精密温控，成为半导体生产线上不可或缺的关键装备。

目前，精密恒温恒湿箱拥有结合全场景非标定制能力，可满足用户不同环境参数及使用需求，比如温湿度稳定性、洁净度，抗微振、防磁、隔音等不同个性化需求。精密恒温恒湿箱现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板领军企业与国家重点实验室，应用于众多科研与生产场景。

精密环控柜专为满足半导体制造严苛环境需求设计，其自主研发的高精密控温技术，精密恒温恒湿箱设备内部温度稳定性关键区域可达±0.002℃，精密温控输出精度达 0.1%，确保了光刻过程中芯片温度的极度稳定，极大减少因温度波动导致的光刻偏差，提升芯片制造的良品率。

不仅如此，系统可实现十级以上洁净度控制，满足半导体生产对洁净环境的严格要求。设备内部湿度稳定性达 ±0.5%@8h，压力稳定性达 +/-3Pa，可连续稳定工作，为半导体制造提供了全方位稳定的环境保障。

数据实时记录查询功能，让生产过程中的温度、湿度等数据自动生成曲线并保存，可随时导出，方便工程师进行生产分析与质量追溯。外观定制可拆卸设计，采用可拆卸铝合金框架与高质量钣金材质，既能满足大型半导体设备现场组装需求，又可根据客户喜好定制外观颜色。设备运行静音高效，采用 EC 风机与高效隔音材质，噪音 < 45dB，为生产车间营造安静舒适的工作环境。自动安全保护系统，故障自动保护并实时声光报警提醒，还可远程协助故障处理，让半导体生产全天候无忧运行。选择极测精密温控设备，为半导体制造的高精度生产保驾护航。