国产精密恒温恒湿环境控制柜,助力半导体行业发展


发布时间:

2025-04-10

极测(南京)技术有限公司推出的精密温控设备,以 ±0.002℃的超高温控精度,深度嵌入半导体生产线,成为保障工艺稳定性与产品良率的关键装备。

在半导体制造领域,精度作为核心要素,直接决定了产品质量与生产效能的上限。南京拓展科技旗下企业,极测(南京)技术有限公司推出的精密温控设备,以 ±0.002℃的超高温控精度,深度嵌入半导体生产线,成为保障工艺稳定性与产品良率的关键装备。
目前公司具备强大的全场景非标定制技术体系,精密温控设备能够依据不同用户所处环境的差异化参数以及多样化使用诉求,精准定制解决方案。无论是不同温湿度稳定性要求,还是在洁净度、抗微振、防磁、隔音等方面存在特殊考量的环境都能得到妥善满足。精密温控设备现已服务全球半导体、通信设备、显示面板等行业头部企业供应链,并在多个国家重点实验室的前沿科研项目中得以应用,验证了其可靠性与卓越性能。
 
其自主研发的高精密控温技术,在柜体内部温度稳定性关键区域可达 ±0.002℃,控制输出精度达 0.1%;ISO Class 1洁净度控制能力,精密温控设备契合了半导体生产对无尘环境的高标准要求;精密温控设备内部湿度稳定性维持在 ±0.5%@8h,压力稳定性控制在 +/-3Pa,可确保在长时间连续运行状态下,为半导体制造流程营造全方位稳定且适宜的物理环境。
 
精密温控设备内置实时记录查询功能,生产进程中的温度、湿度等关键数据能够自动生成可视化曲线并予以保存,支持随时按需导出,极大便利了工程师开展生产过程回溯分析以及质量问题追溯排查工作。精密温控设备外观设计采用可拆卸铝合金框架结合高质量钣金材质,既满足大型半导体设备在现场复杂环境下的便捷组装需求,又兼顾客户对于外观个性化定制的期望。
 
精密温控设备配备自动安全保护系统,一旦遭遇故障,即刻自动启动保护机制,并通过声光报警及时提示现场人员,同时支持远程协助故障诊断与处理,为半导体生产的连续性与稳定性保驾护航,真正实现全天候无忧运行。
UAC300 高精密环控系统
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UCC100 高精密环控系统
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