极测超精密仪器室：打造洁净恒温操作环境
发布时间：
2025-04-23
极测（南京）技术有限公司打造的超精密仪器室，通过集成自主研发的高精密微环境控制系统，为光刻机、立式干涉仪等精密仪器构建了温度波动极小、洁净度极高（洁净恒温）的理想工作环境，成为支撑高精度测量与科研生产的关键基础设施。
作为南京拓展科技旗下专注于微环境控制技术的核心企业，极测（南京）技术有限公司打造的超精密仪器室，通过集成自主研发的高精密微环境控制系统，为光刻机、立式干涉仪等精密仪器构建了温度波动极小、洁净度极高（洁净恒温）的理想工作环境，精密仪器室成为支撑高精度测量与科研生产的关键基础设施。
纳米级温控，超高精度温度波动
极测运用自主研发的高精密控温技术，控制输出精度达 0.1%，使得环境内部温度稳定性关键区域可达 ±0.002℃（±2mK）。实现±0.002℃，±0.005℃，±0.05℃，±0.01℃，±0.1℃等不同等级精度的温度控制。为精密仪器打造高精密恒温稳定操作环境。
最高ISO Class 1洁净，打造无尘空间
精密仪器室系统可实现百级以上洁净度控制，最高达到ISO Class 1，避免灰尘等污染物影响光线传播。设备内部湿度稳定性可达 ±0.5%，有效防止因湿度变化引发的光学元件发霉、机械部件生锈等问题，延长精密仪器使用寿命。
全场景非标定制，满足多元化需求
精密仪器室可根据用户需求，满足用户不同的温湿度稳定性、洁净度，以及抗微振、防磁、隔音等多样化的个性要求，保证用户的正常使用。
智能运维省心省力
精密仪器室具备强大的数据实时记录查询功能。运行中的温度、湿度等关键数据自动生成曲线，便于操作人员直观掌握环境变化。数据自动保存且可随时导出，运行状态与故障状态同步记录，方便进行数据分析、质量追溯与故障排查。此外，自动安全保护系统可实现故障自动保护，确保设备全天候稳定运行，减少因故障导致的测量中断。
UAC300 高精密环控系统
UBA300 高精密环控系统
UAA300 高精密环控系统
UCB100 高精密环控系统
UCC100 高精密环控系统
UCC100 高精密环控系统
UBA200 高精密静音环控系统
这里是标题一h1占位文字
更多新闻
服务热线
地址：南京市江北新区研创园江淼路88号腾飞大厦D座