方寸之间 精准调控
高精密环控系统UPECS
方寸之间 精准调控

最高可实现空气温度稳定性±0.002℃
洁净度ISO Class 1
湿度±0.1%RH
可根据环境参数指标非标定制

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自研温控技术 恒温稳定运行
高精密冷却水机Chiller
自研温控技术 恒温稳定运行

最高可实现出水温度稳定性±0.002℃
支持非标定制

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精控气温 稳准高效
高精密气体温控机ACU
精控气温 稳准高效

控制精度±0.01℃，规避热偏差影响
适用于压缩空气/氮气
支持非标定制

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UPECS

高精密环控系统

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Chiller

高精密冷却水机

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ACU

高精密气体温控机

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致力于为全球高精密需求用户打造超精密稳定的研发与生产环境。 极测（南京）技术有限公司是一家集研发、生产和销售为一体的高端装备制造企业，专注于为芯片半导体、光学光电、量子计算等领域提供定制化的高精密环境控制解决方案。

为光刻机、键合设备、半导体量测设备、光学检测设备等高端装备提供关键环境技术配套支撑。具备全场景非标定制能力，满足用户不同温湿度稳定性、洁净度、气压稳定性、抗微振、防磁等需求。

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极测 UPECS 高精密环控系统以 ±0.002℃ 温控、ISO 1 级洁净度与 ±0.1% RH 湿度稳定性，为芯片制造、半导体检测、光学精密加工及尖端科研场景提供环境控制的全参数保障。

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