高精密环境控制设备厂家为半导体行业提供非标定制服务
发布时间:
2025-10-10
极测(南京)技术有限公司(简称 “极测(南京)”)深耕半导体领域,针对半导体不同场景需求,提供定制化解决方案,为芯片研发与量产筑牢环境屏障。
在半导体芯片制造中,温度、湿度、洁净度等环境参数的细微偏差,都可能导致晶圆良率骤降、产品报废。作为半导体行业 “环境管家”,高精密环境控制设备的可靠性至关重要。极测(南京)技术有限公司(简称 “极测(南京)”)深耕该领域,针对半导体不同场景需求,提供定制化解决方案,为芯片研发与量产筑牢环境屏障。
一、核心能力:精准匹配半导体环境需求
极测(南京)的高精密环境控制设备,从源头贴合半导体行业极致要求。温度控制上,实现行业领先的最高 ±0.002℃恒温精度,关键区域静态温度波动仅 ±2mK,温度水平均匀性小于 16mK/m,无论是光刻机运行的超稳环境需求,还是芯片测试的精准温控场景,都能完美适配。依托自主研发算法,面对设备瞬时放热等动态变化可快速响应,从根源避免温度波动对晶圆质量的影响。
湿度与洁净度控制同样达到顶尖标准:湿度稳定性维持在 ±0.3%@8h,工作区洁净度最高可优于 ISO Class3 标准,部分场景甚至能实现 ISO Class1 级别洁净空间,有效拦截微小颗粒、去除有害气体,同时精准控制气压稳定性在 ±3Pa,全面防止晶圆污染腐蚀,保障膜层均匀度。
二、硬件配置:兼顾稳定与适配性
极测(南京)在硬件选型上严格对标半导体行业要求,兼顾控温效率与低噪音表现,运行噪音低于 45dB,适配洁净车间与实验室环境;可拆卸铝合金框架与耐腐蚀材质设计,既延长设备寿命,又方便现场组装与维护。
设备融入多重安全设计,集成自动故障保护、声光报警等功能,支持远程协助故障处理,一旦出现参数异常立即启动保护机制,保障光刻机等高价设备的运行安全。
三、软件功能:贴合半导体管理需求
设备配备智能控制系统与可视化界面,强大的数据记录功能可自动生成温湿度、压力等参数曲线,支持表格形式导出,同步记录设备运行状态与故障信息,满足半导体行业数据追溯与审计需求。实时声光报警提醒,及时通知运维人员,配合设备长周期稳定运行能力(可连续数万小时保持精度),最大程度降低生产线停摆风险。
四、非标定制:覆盖半导体全场景
针对半导体行业多样需求,极测技术提供全场景定制服务,满足用户不同温湿度稳定性、洁净度,气压稳定性、抗微振、防磁、隔音等个性化需求。包括光刻机等半导体设备温控配套,晶圆制造生产/实验流程等。满足国家重点实验室与前沿科研需求。
极测(南京)技术有限公司凭借 ±0.002℃级温控精度与全场景定制能力,已服务多家全球半导体领军企业与国家重点实验室。未来将持续迭代技术,为工艺芯片制造提供更精准的环境保障。
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