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极测（南京）高精密环境控制设备洁净过滤系统达 ISO Class 1标准

发布时间：

2025-11-06

该系统的应用，为国内半导体、微电子等高端制造产业提供本土化的高洁净环境解决方案，助力我国高端装备自主化进程持续推进。

极测（南京）技术有限公司，其核心技术成果 —— 自主研发的高精密环控系统，已稳定具备 ISO Class 1 洁净标准，作为国内掌握该级别洁净环境控制技术的企业之一，为我国高端制造领域关键设备的长期环境保障提供核心技术支撑。

ISO Class 1 洁净标准是国际公认的极高洁净度等级，要求每立方米空气中粒径≥0.1μm 的微粒数不超过 10 个，对气流控制、过滤精度、区域温控等核心技术指标提出严苛要求，广泛应用于半导体光刻机、涂胶显影机等对环境洁净度极为敏感的高端装备领域。极测（南京）通过多维度技术创新，保障了这一高标准的长期稳定运行。

在气流控制设计上，该系统采用垂直单向流架构，确保洁净气流覆盖控制区域；同时引入计算流体力学（CFD）气流模拟仿真技术，通过精细化仿真优化气流分布路径，有效规避传统系统中易出现的涡流死角问题，从源头减少微粒滞留风险，保障洁净环境的均匀性与稳定性。

针对高端设备的个性化需求，极测（南京）进一步在光刻机、涂胶显影机等关键设备内部，精准设置专属关键温控区。通过定制化温控算法与高精度传感技术联动，将关键区域的温度控制精度提升至±2mK（±0.002℃），既满足 ISO Class 1 洁净度要求，又为设备核心部件的稳定运行提供恒温保障，解决了 “高洁净” 与 “高精度控温” 协同的行业难题。

据极测（南京）技术负责人介绍，公司高精密环境控制设备洁净过滤系统长期符合 ISO Class 1 洁净标准，是企业在该领域多年技术积累的体现。该系统的应用，为国内半导体、微电子等高端制造产业提供本土化的高洁净环境解决方案，助力我国高端装备自主化进程持续推进。未来，公司将持续深化技术研发，为行业高质量发展注入新动能。