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极测（南京）：半导体行业定制超精密环境控制实践案例
发布时间：
2025-12-10
极测（南京）该定制方案精准落地了客户半导体制程所需的超精密环境，为半导体器件的高良率、高一致性生产提供可靠环境支撑。
极测（南京）技术有限公司为半导体客户定制了超精密环境控制解决方案 —— 在半导体核心制程环节中，环境温湿度、洁净度、参数稳定性等指标直接影响器件制程一致性与良率，因此需适配其生产需求的超精密级环控方案。
以某半导体制程超精密环控方案为例，下面是其所处区域环境的描述，及针对其中超精密环控区域的参数实现情况。
方案落地：内外环境匹配，实现关键微环境的精准环控
针对制程需求，方案依据其所处区域环境基础情况，落实其中核心区域超精调控方案，实现内外环境参数的精准控制：
外环境区域：前置稳定支撑
作为超精密环境的外层保障，用户外部区域有着较为严格的环境参数指标：
温湿度条件：22±2℃ DB（温度变化率2℃/h以内）、50±5%RH（湿度变化率5%/h以内）；
配套参数：ISO class 5 洁净度、环境噪音60dB；海拔高度-20~2000m，空气压力（名义）78~101.4kPa，压力梯度≤2.0kPa/hr 且≤10Pa/10sec；
超精密环控区域：匹配制程极致要求
在外环境基础上，为核心生产区（设备工作区）实现超精密参数控制：
洁净度：设备工作区达到 ISO class 3 等级；
温度：核心温度稳定在 22.0℃，关键区域（静态）温度稳定性 ±5mK、其他区域（静态）±20mK，区域温度均匀性 < 16mK/m；
湿度：依托 “外环境含湿量稳定 + 温度精准调控” 的思路，实现内部湿度稳定性 ±0.8%RH；
压力与噪音：区域压力稳定性 ±3Pa，内部噪音≤45dB。
极测（南京）该定制方案精准落地了客户半导体制程所需的超精密环境，各项参数均贴合其生产对微环境的严苛标准，为半导体器件的高良率、高一致性生产提供了可靠的环境支撑。
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