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极测高精密冷却水机Chiller：毫K级控温，助力高端制造精密升级

发布时间：

2026-05-26

极测高精密冷却水机提供±0.002℃超精控温，适配半导体、光学等高端制造领域，保障工艺稳定与高效运行。

在芯片半导体、精密光学、量子计算等高端制造与科研领域，工艺制程对温度控制的精度、稳定性及响应速度提出极致要求，微小的温度波动即可影响产品良率与科研成果。极测高精密冷却水机Chiller依托自主研发核心技术，推出常温压缩型Chiller与换热型Chiller两大系列，实现最高±0.002℃（±2mK）的出水温度稳定性，温度范围覆盖5℃~35℃，搭配自我诊断、过载保护、高低压保护、漏液检测保护，可精准适配半导体制造、光学设备、航空航天等多领域严苛冷却需求，为高端装备稳定运行提供核心温控支撑，助力我国高端制造自主化进程推进。

一、极测高精密冷却水机技术原理与核心优势

极测高精密冷却水机Chiller是专为高端制造与科研场景打造的核心温控基础设施，为关键设备与工艺提供可靠的冷却保障，分为常温压缩制冷型与换热型两款，广泛适配芯片半导体、精密光学、量子计算、航空航天等对温控精度要求严苛的领域，是光刻机、键合设备、半导体量测设备等高端装备的核心配套设备。两款产品均通过控制循环液的温度、流量和压力，高效带走设备运行及工艺反应产生的热量，确保工艺环境温度稳定，保障产品质量与设备长效运行。

相较于传统冷却水机，极测高精密冷却水机的核心优势凸显：

(一)自研高精度控温技术，实现最高±0.002℃的出水温度稳定性，突破行业主流控温标准；

(二)场景定制化能力，可根据用户工况需求，定制制冷量、流量、接口尺寸等参数，适配实验室到工业产线的多样化需求；

(三)智能便捷与安全可靠兼具，配备完善的监控与保护系统，兼顾操作便捷性与运行稳定性；(四)低耗环保，采用高效部件与环保冷媒，实现能效提升与低碳运行，同时具备低噪音、抗干扰特性，适配高精密环境需求。

二、极测高精密冷却水机典型应用场景

1、半导体制造：核心工艺温控保障

光刻工艺温控：EUV光刻机等先进光刻设备要求冷却水温度波动极低，极测高精密冷却水机通过毫K级控温能力，稳定冷却光刻机核心部件，避免温度波动导致的光刻胶形变、线宽偏差，保障光刻精度，降低工艺损失。

键合与封装测试：在芯片封装键合工艺中，键合头温度需维持极高稳定性，极测高精密冷却水机通过、确保焊接强度与产品良率；在芯片老化测试中，保障测试结果精准可靠。

2、精密光学与科研领域：环境稳定性支撑

光学设备温控：为干涉仪、激光设备、光谱仪等高精度光学设备提供冷却，通过最高±0.002℃的精准控温，避免温度漂移导致的光束焦点偏移、成像精度下降等问题，保障设备运行稳定性，助力精密测量与光学实验开展。

科研实验支撑：深度服务多家国家级重点实验室，为量子计算、生物医药、冷冻电镜成像等科研场景提供稳定冷却保障，避免冰晶破坏蛋白质结构，保障科研成果价值。

极测高精密冷却水机以±0.002℃的毫K级控温精度，突破国内高端温控技术边界，凭借自主研发的核心技术、全场景定制能力与完善的安全保障，成为高端制造与科研领域的核心温控伙伴。目前，极测产品已深度服务于半导体头部企业、顶尖通信设备商、显示面板领军企业及多家国家级重点实验室，未来将持续攻关，以更精准、更稳定、更高效的温控解决方案，助力我国高端装备自主化进程持续推进。