首页

极测高精密冷却水机Chiller：精密制造的"温度基线"

发布时间：

2026-06-03

极测高精密冷却水机Chiller通过精准控温保障半导体制造的高精度需求。

在半导体洁净车间里，光刻机投影物镜以纳米级精度将电路图案转移到硅片。与此同时，数百瓦曝光能量持续注入，物镜内部温度缓慢爬升。如果冷却水温波动超过千分之二度，物镜将发生热膨胀，焦点漂移，整批晶圆面临报废。

在精密制造的世界里，温度从来不是一个"舒适度"指标——它是一道硬性的技术防线。极测（南京）技术有限公司的高精密冷却水机Chiller，正是为守住这道防线而设计的。

从"降温"到"控温"

传统冷却水机的工作是把水变冷。但在高端制造中，"降温"只是表层能力，"控温"才是真正的分水岭。一台用于刻蚀设备的冷却水机，不仅需要带走工艺热量，更要在负载剧烈波动时稳稳控制好温度精度。极测Chiller搭载自研的高精度温度采集模块，从数据源头保证测量精度，目前出水温度稳定性最高可达±0.002℃。

两类产品，两种路径

Chiller提供两种产品类型。常温压缩制冷型由设备自身完成完整制冷流程，部署灵活，适合大多数独立冷却场景。换热型则借助现场已有的集中冷源，通过高效换热器耦合外部冷源与设备精密水循环。这种设计的优势在降低硬件投入和长期运行能耗，同时运行噪音更低，适合半导体车间、实验室等对声环境有要求的场所。

两类产品均支持非标定制。设备配备大尺寸触摸屏，以实时曲线呈现水温变化趋势。内置历史数据存储模块。安全层面配置了过载保护、液位监测、漏液检测等多重防护。

应用场景

在半导体前道工艺中，光刻、刻蚀、薄膜沉积均产生大量热量。以干法刻蚀为例，腔体内等离子体温度可达数百摄氏度，若不及时带走，不仅损伤晶圆，还可能造成腔体部件永久变形。在光学检测中，激光干涉仪对环境温度极其敏感，光路长度因温度波动产生的微米级变化便足以让测量失效。此外精密注塑模具控温等场景中，Chiller同样发挥着底层支撑作用。

精密制造的每一次精度跃迁，都离不开底层环境控制的同步升级。±0.002℃，不是一个营销数字，而是精密制造的真实底线。