高精密环境控制设备
产品亮点

超高精度温湿度控制

自主研发的高精密控温技术 , 控制输出精度0 . 1%

设备内部温度稳定性关键区域可达+/-5mk (静态) , 内部温度规格为22. oc (可调) , 温度水平均匀性小于16mk/m

设备内部湿度稳定性可达±0 .5%@8h

设备内部压力稳定性可达 +/-3pa

连续稳定工作时间大于144h

超高水准洁净度控制

该系统可实现百级以上洁净度控制 。

内部洁净度: 最高可优于 ISO Class 3(设备工作区)

数据实时记录查询

数据自动生成曲线 , 便于查看

数据自动保存 , 可随时以表格的形式导出数据

运行状态、 故障状态等事件同步记录 , 查询一目了然

外观定制可拆卸

采用可拆卸铝合金框架 , 大型设备可现场组装

箱体采用高质量钣金材质 , 美观大方 , 可根据客户需求定制外观颜色

设备运行静音高效

采用EC风机 , 更高效、 更强大、 更安静的运行

制冷单元内部采用高效隔音材质 , 进 步降低设备噪音噪音<45dB

自动安全保护系统

故障自动保护程序 , 全天候无忧运行

故障实时声光报警提醒 , 远程协助故障处理
设备型号说明
运行环境
适用行业

半导体与集成电路制造
实验室中的设备,如激光器、反应釜等

高精度光学仪器研发与制造
激光干涉仪、电子显微镜、原子力显微镜等设备运行环境控制

航空航天部件加工与测试
航空发动机涡轮叶片加工、卫星热真空环境模拟测试

新能源电池研发与生产
锂离子电池电解液注入、电极材料涂布工艺

生物制药与疫苗生产
细胞培养、冻干制剂工艺的洁净室温控

精密机械加工与检测
高精度数控机床、三坐标测量仪运行环境控制

通信技术
确保通信信号的高质量和数据传输的连续性

超导材料与量子计算研究
超导器件低温实验环境、量子比特操控系统
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