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高精密环境控制设备

高精密环境控制设备是一款自主研发的精密环境控制产品，主要由设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等组成，为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供招高精度温湿度、洁净度的工作环境。该设备内部通过风机引导气流以一定的方向循环，控制系统对循环气流的每个环节进行处理，从而使柜内的温湿度达到超高的控制精度

HEA300 高精密环境控制设备

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产品亮点

超高精度温湿度控制

自主研发的高精密控温技术 , 控制输出精度0 . 1%

设备内部温度稳定性关键区域可达+/-5mk (静态) , 内部温度规格为22. oc (可调) , 温度水平均匀性小于16mk/m

设备内部湿度稳定性可达±0 .5%@8h

设备内部压力稳定性可达 +/-3pa

连续稳定工作时间大于144h

超高水准洁净度控制

该系统可实现百级以上洁净度控制。

内部洁净度: 最高可优于 ISO Class 3(设备工作区)

数据实时记录查询

数据自动生成曲线 , 便于查看

数据自动保存 , 可随时以表格的形式导出数据

运行状态、故障状态等事件同步记录 , 查询一目了然

外观定制可拆卸

采用可拆卸铝合金框架 , 大型设备可现场组装

箱体采用高质量钣金材质 , 美观大方 , 可根据客户需求定制外观颜色

设备运行静音高效

采用EC风机 , 更高效、更强大、更安静的运行

制冷单元内部采用高效隔音材质 , 进步降低设备噪音噪音<45dB

自动安全保护系统

故障自动保护程序 , 全天候无忧运行

故障实时声光报警提醒 , 远程协助故障处理

设备型号说明

命名	JICE	H	A	A	100
码位	1	2	3	4	5
第1码	JICE-品牌
第2码	H-高精密环控系列
第3码	制冷模式编号 A-风冷型，冷媒介质为水 B-水冷型，冷媒介质为水 C-风冷型，冷媒介质为氟利昂 D-水冷型，冷媒介质为氟利昂 E-用户提供冷冻水
第4码	温度精度编号 A-精度高于±0.01 B-精度低于±0.01，高于±0.05 C-精度低于±0.05
第5码	设备规模编号 100-小型设备（一般制冷量小于5KW）200-中型设备（一般制冷量在5KV-10KW之间） 300-大型设备（一般制冷量在10KW以上）

运行环境

设备需放置于具有一定温湿度精度、洁净度要求的实验室内运行。
周围温湿度条件	±2℃ DB温度变化率0.5℃/8h以内
周围温湿度条件	±5%RH 湿度变化率59%8h以内
周围洁净度条件	ISO class6
环境噪音	≤60dB
供电电源	三相五线制380VAC-50Hz或220VAC-50Hz(根据设备而定)
电源电压	最大允许波动范围为±10%
储存环境温度	设备制冷单元-40℃-70℃ 触摸屏-20℃-60℃，不结露
运行环境温度	控制器-20℃-60℃ 触摸屏0℃-50℃，不结露