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高精密环控设备-光学仪器温湿度洁净度控制方案

发布时间：

2024-11-07

光学仪器行业对温湿度和洁净度确实有严格的要求，这些要求主要源于光学仪器的高精密性和对生产环境的敏感性。

光学仪器行业对温湿度和洁净度确实有严格的要求，这些要求主要源于光学仪器的高精密性和对生产环境的敏感性。以下是对这些要求的详细阐述：
　　一、温湿度要求
　　光学仪器行业对生产环境的温湿度有特定的要求，以确保产品的精度和稳定性。
　　温度：一般要求在20℃~25℃之间，但具体数值可能因产品类型和生产工艺的不同而有所差异。例如，有些资料指出，光学仪器装配环境要求温度稳定，一般要求在20℃±2℃范围内；而光电光学制品洁净车间则要求温度为24±2℃。
　　湿度：通常要求在40%~60%RH之间，具体数值也可能因产品类型和生产工艺的不同而有所调整。例如，光学仪器装配环境要求湿度在50%RH±10%RH范围内；而光电光学制品洁净车间则要求相对湿度为55%+5%。
　　二、洁净度要求
　　光学仪器对生产环境的洁净度也有很高的要求，以避免灰尘、颗粒物等污染物对产品质量的影响。
　　洁净等级：洁净室的洁净等级通常以单位体积空气中所含有的尘粒数（含尘浓度）作为指标。光学仪器生产通常需要在千级、万级或十万级洁净度的环境中进行。
　　空气过滤：为了保证洁净度，光学仪器生产车间通常采用高效的空气过滤系统，以去除空气中的灰尘和微粒。
　　防止静电：由于光学元件对静电敏感，因此还需要采取防静电措施，如安装防静电地板、穿防静电服装等。
　　三、控制措施
　　为了满足光学仪器行业对温湿度和洁净度的要求，通常需要采取以下控制措施：
　　安装精密的温湿度控制设备：这些设备能够实时监测和调节生产环境内的温湿度，确保其处于稳定状态。极测（南京）技术有限公司自主研发的高精密环控设备-精密环控柜，主要由设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等组成，为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供招高精度温湿度、洁净度的工作环境。该设备内部通过风机引导气流以一定的方向循环，控制系统对循环气流的每个环节进行处理，从而使柜内的温湿度达到超高的控制精度。

最高可实现±0.002℃高精密温度控制，及洁净度十级的卓越能力。目前已拥有结合全场景非标定制能力，可满足用户不同环境参数及使用需求，比如温湿度稳定性、洁净度，抗微振、防磁、隔音等不同个性化需求。现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板领军企业与国家重点实验室，应用于众多科研与生产场景。

　　采用高效的过滤系统：过滤系统能够有效去除空气中的灰尘和微粒，减少它们对光学元件的影响。
　　定期维护和检查：定期对生产环境内的设备进行维护和检查，确保其正常运行，避免温湿度波动和污染对生产造成影响。
　　控制人员进出：通过限制人员进出、穿戴洁净服、设置风淋室等措施，减少灰尘和污染物的带入。
　　综上所述，光学仪器行业对温湿度和洁净度有严格的要求，这些要求对于保证产品的精度、稳定性和可靠性至关重要。