半导体、医疗、激光制造温控解决方案-极测（南京）技术有限公司
发布时间：
2025-06-04
从±1℃到±0.001℃的跨越——毫K级温控革命：极测高精密水冷冷冻水机组如何定义行业新标杆。
一、行业核心痛点：当温度波动成为技术天花板
在高端制造与科研领域，温度控制的微小偏差正在扼杀技术突破：
半导体光刻环节：极紫外（EUV）光刻机要求冷却水温度波动≤±0.001℃。传统机组±0.5℃的精度会导致光刻胶形变，造成纳米级线宽偏差，单次工艺损失超$50万。
冷冻电镜（Cryo-EM）成像：生物样本需在-180℃下维持±0.1℃稳定性。温度波动超过阈值会使冰晶破坏蛋白质结构，3D重建分辨率从3Å劣化至8Å，研究成果价值归零。
高功率激光加工：光纤激光器温度漂移＞±0.02℃时，热透镜效应导致光束焦点偏移20μm，碳钢切割断面粗糙度增加300%，废品率飙升。
技术本质：传统水冷机组受限于PID控制滞后性、换热器结垢衰减、单点故障风险，无法满足超精密场景的“零容忍”需求。
二、极测技术架构：三位一体的毫K级控温堡垒
精密水冷冷冻水控温技术
采用自主研发高精度温度采集模块，准确测量实时的供水温度数值并传输给控制器，冷冻水阀无级调节、无级调节电加热器。采用PID算法和逐级控温专利技术，在运行过程中进行比例、积分、微分的计算并输出控制，使供水温度处于稳定状态。
基于逆卡诺循环原理运作，通过消耗机械能（或电能）将热量从低温热源转移至高温热源，实现制冷效应。
制冷剂依次流经蒸发器→压缩机→冷凝器→膨胀阀。
采用高精度温度传感器，实时监测冷冻水温度。 先进的 PID 控制算法，精准调节制冷量。 高精密逐级控温专利设计（发明专利号：2021108099890） 部分高端机组运用自适应模糊控制，提升复杂工况下控制精度。 温度控制精度可达 ±0.1℃ ~±0.001℃，确保温度稳定。
板式换热器：高效紧凑，传热系数高、气密性好、占地面积小、易于清洗维护。 内部结构设计采用微通道；使内部流场优化，流体湍流程度提高；采用智能控制系统调节运行参数，降低能耗。 采用优质材料（铜、不锈钢），提升耐腐蚀性能与换热效率。 采用环保型冷媒R410 。
三、极测产品特性：高精度高稳定性，节能高效灵活定制
高精密控温专利技术（发明专利号：2021108099890） 出水温度控制精度最高可达 ±0.001℃； 控温高效，可实现分钟级快速控温稳定运行， 自主研发高精密温度采集器，实现温度精准测控； 适用于对温度敏感的高端制造与科研场景。
1. 稳定机制
通过实时监测负载变化，动态调节压缩机频率、制冷剂流量及换热器换热效率，确保在设备启停、负载突变时温度快速恢复至设定值，避免因温度波动影响精密工艺（如半导体晶圆加工、光学元件制造）。
2. 系统部件与结构的可靠性设计
关键部件冗余配置：压缩机、水泵、控制器等核心部件采用冗余设计可实现双压缩机并联，当单一部件故障时，备用部件自动切入，维持系统连续运行，降低停机风险。
结构抗震与抗干扰：机组底座配置减震弹簧或橡胶垫，减少振动对内部元件的影响；电气系统采用屏蔽线缆和抗干扰滤波装置，避免电磁干扰导致的控制失灵，适用于高精密实验室或工业环境。
3. 智能监控与动态调节能力
全流程实时监测：通过 PLC ，实时采集温度、压力、流量、功耗等参数，形成数据闭环反馈，当参数偏离阈值时自动触发调节（如增大冷却水流量、调整膨胀阀开度）。
自适应负载调节：针对精密设备（如激光器、医疗仪器）的动态负载需求，机组可通过变频技术（如压缩机变频、风扇变频）平滑调整制冷量，避免因负载变化导致的系统震荡，确保输出稳定。
4. 长效运行的抗衰减设计
换热器采用不锈钢纳米涂层材质，配合水质软化处理系统，减少水垢沉积和腐蚀，维持传热效率长期稳定（普通机组运行 1~2 年传热效率可能下降 10%~20%，高精密机组可控制在 5% 以内）。
5. 极端工况适应性与安全保护
宽工况运行能力：在环境温度 - 10℃~45℃、电源电压 ±10% 波动等极端条件下，仍能保持稳定制冷，通过防结冰保护（如蒸发器温度过低时自动停机）、过压 / 过流保护等机制，避免系统故障。
多级安全冗余保护：配置高压保护、低压保护、断流保护、电机过热保护等不少于 6 重安全装置，任一异常触发时，系统按预设逻辑逐步降载或停机，防止设备损坏，同时通过报警系统实时反馈故障信息，提升运维效率。
1. 高效能量转换与智能调控技术
采用永磁同步变频压缩机、高效永磁电机，比传统定频机组能效提升 30% 以上，配合 AI 智能算法根据负载动态调节转速，在 20%~100% 负荷区间均保持高 COP 值（部分负荷 COP 可达 5.0 以上）。 换热器采用微通道、高效波纹管等强化传热结构，传热系数提升 20%~40%，减少冷热端温差损耗，降低压缩机功耗。
2. 系统集成优化 全系统采用水力平衡设计与变频水泵，根据实际流量需求调节泵速，水泵功耗比传统定速系统降低 40% 以上，配合智能群控技术实现多机组协同运行，避免 “大马拉小车” 现象。
3. 低损耗设计与环保节能技术 采用环保制冷剂（如 R32、R410A），ODP=0 且 GWP 值低，配合高效隔音棉与密封结构，减少能量漏损与制冷剂逸散；电气系统采用节能型变压器与谐波抑制装置，整机功耗密度降低 10%~15%。 支持动态休眠模式，当负载低于 10% 时自动进入节能待机状态，功耗降至额定功率的 5% 以下，实现 “按需供冷” 的节能目标。
可根据不同冷量需求定制机组，尺寸/空间等可调整； 满足多种安装空间与使用环境要求。
支持多回路控制，满足各类工业控制在要求。
目前具备单通道制冷和双通道制冷，适应复杂工艺需求。
下图的极测（南京）技术有限公司高精密水冷冷冻水机组H系列产品参数，供您参考。（备注：以下为常用规格为常规规格，可根据具体规格进行定制）有需要可拨打400-023-8880或点击 http://www.jicenj.com/ 咨询
型号 | HSL-0150 | HSL-0250 | HSL-0500 | HSL-1000 | HSL-1400 | HSL-2000 | HSL-2600 | HSL-3500 | HSL-5000 | |
介质温度范围 | 5℃-35℃，可调节 | |||||||||
温度控制 | PLC恒温控制出水温度 | |||||||||
控温精度 | 高精度可达±0.002℃ /±0.001℃ | |||||||||
温度传感器 | PT100 | |||||||||
制冷量 | 10℃ | 1.5KW | 2.5KW | 5KW | 10KW | 15KW | 20KW | 26KW | 35KW | 50KW |
循环水流量 | 20L/min | 25L/min | 35L/min | 50L/min | 75L/min | 100L/min | 150L/min | 200L/min | 250L/min | |
压力 | 2 BAR | 2 BAR | 2 BAR | 2 BAR | 2 BAR | 2 BAR | 2 BAR | 2.5 BAR | 2.5 BAR | |
压缩机 | 松洋、其他 | |||||||||
蒸发器 | 板式换热器 | |||||||||
操作面板 | 10寸彩色触摸屏 | |||||||||
安全防护 | 具有自我诊断功能，冷冻机过载保护，高低压保护，漏液检测保护 | |||||||||
制冷剂 | R-410A | |||||||||
接口尺寸 | DN20 | DN20 | DN25 | DN25 | DN32 | DN40 | DN40 | DN50 | DN50 | |
外形尺寸（mm） | 500*800*1500 | 500*80*1500 | 600*800*1800 | 800*800*1950 | 1200*900*2000 | 1300*1000*2000 | 1500*1200*2000 | 1800*1200*2000 | 2000*1200*2000 | |
重量 | 120Kg | 130Kg | 150Kg | 230kg | 300Kg | 360kg | 420kg | 580kg | 840kg | |
电源(50HZ) | AC220V | AC220V | AC220V | AC380V | AC380V | AC380V | AC380V | AC380V | AC380V | |
外壳材质 | 冷轧板喷塑 | |||||||||
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