高精密环境控制终端

产品亮点

超高精度温湿度控制

自主研发的高精密控温技术 , 控制输出精度0 . 1%

设备内部温度稳定性关键区域可达+/-5mk (静态) , 内部温度规格为22. oc (可调) , 温度水平均匀性小于16mk/m

设备内部湿度稳定性可达±0 .5%@8h

设备内部压力稳定性可达 +/-3pa

连续稳定工作时间大于144h

超高水准洁净度控制

该系统可实现百级以上洁净度控制 。

内部洁净度: 最高可优于 ISO Class 3(设备工作区)

数据实时记录查询

数据自动生成曲线 , 便于查看

数据自动保存 , 可随时以表格的形式导出数据

运行状态、 故障状态等事件同步记录 , 查询一目了然

外观定制可拆卸

采用可拆卸铝合金框架 , 大型设备可现场组装

箱体采用高质量钣金材质 , 美观大方 , 可根据客户需求定制外观颜色

设备运行静音高效

采用EC风机 , 更高效、 更强大、 更安静的运行

制冷单元内部采用高效隔音材质 , 进 步降低设备噪音噪音<45dB

自动安全保护系统

故障自动保护程序 , 全天候无忧运行

故障实时声光报警提醒 , 远程协助故障处理

 

运行环境

设备需放置于具有一定温湿度精度、洁净度要求的实验室内运行。

周围温湿度条件

±2℃ DB温度变化率0.5℃/8h以内

±5%RH 湿度变化率59%8h以内

周围洁净度条件

ISO class6

环境噪音

≤60dB

供电电源

三相五线制380VAC-50Hz或220VAC-50Hz(根据设备而定)

电源电压

最大允许波动范围为±10%

储存环境温度

设备制冷单元-40℃-70℃ 触摸屏-20℃-60℃,不结露

运行环境温度

控制器-20℃-60℃ 触摸屏0℃-50℃,不结露

 

适用行业

芯片半导体

精密测量

精密制造

科研研发

 

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