极测微环境控制系统：保障立式干涉仪精密运行
发布时间：
2025-04-22
南京拓展科技旗下企业，极测（南京）技术有限公司研发的微环境控制系统正掀起一场精度革命，为立式干涉仪等精密设备提供精密稳定环境，最高可实现±0.002℃高精密温度控制，及洁净度十级的卓越能力。
南京拓展科技旗下企业，极测（南京）技术有限公司研发的微环境控制系统正掀起一场精度革命，为立式干涉仪等精密设备提供精密稳定环境，最高可实现±0.002℃高精密温度控制，及洁净度十级的卓越能力。目前已拥有结合全场景非标定制能力，可满足用户不同环境参数及使用需求，比如温湿度稳定性、洁净度，抗微振、防磁、隔音等不同个性化需求。现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板领军企业与国家重点实验室，应用于众多科研与生产场景。
立式干涉仪对环境的严苛需求
立式干涉仪作为精密测量的关键设备，基于光的干涉原理工作，通过测量干涉条纹变化精确测定物体长度、角度、表面平整度等参数，精度可达纳米级别。但也正因如此，其对工作环境的微小变化极为敏感。温度波动会致使干涉仪的光学元件、机械结构以及被测物体热胀冷缩，如光学镜片的热变形会改变光线传播路径，进而使干涉条纹位移，在高精度测量中引入不可忽视的误差，严重影响测量准确性与可靠性。
温度控制精度领先
极测精密温控设备运用自主研发的高精密控温技术，控制输出精度达 0.1%，设备内部温度稳定性关键区域可达 +/-2mK（静态），温度水平均匀性小于 16mK/m。这一精度确保了在立式干涉仪运行时，光学元件与机械结构不受温度波动干扰，始终维持在最佳工作状态，为精准测量提供稳定基础。
湿度与洁净度协同保障
设备内部湿度稳定性可达 ±0.5%@8h，有效防止因湿度变化引发的光学元件发霉、机械部件生锈等问题，延长立式干涉仪使用寿命。同时，系统可实现百级以上洁净度控制，最高优于 ISO class3（设备工作区），避免灰尘等污染物影响光线传播与干涉条纹，为干涉仪营造超净工作空间。
智能功能助力运维
极测精密温控设备具备强大的数据实时记录查询功能。运行中的温度、湿度等关键数据自动生成曲线，便于操作人员直观掌握环境变化。数据自动保存且可随时导出，运行状态与故障状态同步记录，方便进行数据分析、质量追溯与故障排查。此外，自动安全保护系统可实现故障自动保护，确保设备全天候稳定运行，减少因故障导致的测量中断。
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