极测：为键合设备构建精密洁净间环境
发布时间：
2025-04-22
极测（南京）技术有限公司凭借深厚的技术沉淀与持续的创新热忱，为半导体等精密制造行业带来了前所未有的精密环境控制系统解决方案。其打造的精密洁净间环境可为键合设备实现 ±0.002℃，±0.005℃，±0.05℃，±0.01℃等不同等级的高精密温度控制，洁净度十级，百级，千级的洁净环境。
南京拓展科技旗下企业，极测（南京）技术有限公司凭借深厚的技术沉淀与持续的创新热忱，为半导体等精密制造行业带来了前所未有的精密环境控制系统解决方案。其打造的精密洁净间环境可为键合设备实现 ±0.002℃，±0.005℃，±0.05℃，±0.01℃等不同等级的高精密温度控制，洁净度十级，百级，千级的洁净环境。可根据用户在温湿度稳定性、尺寸、洁净度、抗微振、防磁、隔音等方面的个性化需求，量身定制解决方案。 已服务多家芯片半导体领军企业与国家重点实验室。
半导体制造中键合设备对环境要求极高，需在恒温、恒湿、高洁净的环境中运行，同时严格控制振动与静电。这些要求旨在确保键合界面的材料活性稳定、设备机械精度达标，避免因温湿度波动导致的键合偏差、颗粒污染引发的界面缺陷或静电损坏芯片，从而保障微米级至亚微米级键合精度及产品良率与可靠性。
设备的主柜体为内部精密组件构筑起稳固的运作空间；依托高精密控温技术，以0.1%的精准控制输出精度。此外，设备配备的气流循环系统，通过风机驱动气流定向循环，结合高效洁净过滤器，不仅能确保设备内部温度均匀分布，更能达到百级以上的超高洁净标准，工作区域洁净度最高优于ISO class3，为半导体光刻机、键合设备等对环境要求严苛的精密仪器，打造了近乎完美的研发生产环境。
在数据管理方面，设备自动将温度、湿度等关键环境参数绘制成可视化曲线，同时设备运行状态、故障信息也会同步记录，便于人员进行全流程数据追溯与深度分析。同时采用可拆卸铝合金框架设计，大幅提升了大型设备在不同科研场所的安装便利性；还可根据客户喜好定制外观颜色，适配多样化应用场景。此外，设备配备的自动安全保护系统，具备故障自动保护功能，可实现全天候稳定运行。
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