支持定制

产品描述

这款高精密环控系统是我司独立研发的精密环境控制产品，可达成 ISO Class1-6 级洁净度，以及 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多级温度波动控制精度。依托全场景非标定制能力，能满足用户在温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等多方面的个性化需求。设备具备运行数据实时记录与查询功能，并配备自动安全防护系统，确保长期稳定运行。

其构成包括主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷（热）系统、照明系统及局部气浴等，专为光刻机、激光干涉仪等精密测量与制造设备，提供超高精度的温湿度及洁净度工作环境。该系统采用垂直单向流设计，利用气流模拟仿真（CFD）优化气流分布，避免涡流死流；在设备内部关键温控区，通过多级控温专利技术实现关键区域温度稳定性的控制；针对关键部件等局部发热区域，采用局部气浴模块（ABM)精准控温。

设备参数表