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产品描述

这款高精密环控柜是我司独立研发的精密环境控制设备，可达成 ISO Class1-6 级洁净度，以及 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多级温度波动控制精度。依托全场景非标定制能力，能满足用户在温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等多方面的个性化需求。设备具备运行数据实时记录与查询功能，并配备自动安全防护系统，确保长期稳定运行。

其构成包括主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷（热）系统、照明系统及局部气浴等，专为光刻机、激光干涉仪等精密测量与制造设备，提供超高精度的温湿度及洁净度工作环境。该系统采用 “外环境保障相对湿度、大环境稳定绝对含湿量” 的逻辑，通过精准控温实现仓内湿度达标。为满足严苛要求，采用大风量小温差设计，快速循环过滤空气并带走余热，使关键区域温度波动低至 ±0.002℃；同时通过多级控温（表冷盘降温 + 多级电加热升温），将精度从 ±0.1℃逐步提升至 ±0.002℃。

设备参数表