支持定制

产品描述

高精密环控柜由我司自主研发，是一款精密环境控制产品，可实现 ISO Class1-6 级洁净度，以及 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的温度波动控制。拥有全场景非标定制能力，能针对用户的个性化需求（如温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等）提供解决方案。设备运行数据实时记录查询，且配备自动安全保护系统，确保长时间运行无忧。

该设备由主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷（热）系统、照明系统、局部气浴等组成，为光刻机、激光干涉仪等精密测量与制造设备，提供超高精度的温湿度及洁净度工作环境。该系统选用垂直单向流架构，借助气流模拟仿真（CFD）对气流分布进行优化，杜绝涡流与死流现象。设备内部关键温控区域，依托多级控温专利技术保障温度稳定性；针对关键部件等局部发热部位，搭配局部气浴模块（ABM）达成精准控温效果。

设备参数表

额定电压	380VAC 50HZ
温度稳定性	±0.002℃
局部气浴温度稳定性	±0.002℃
洁净等级	ISO Class5
噪音	<55dB
外形尺寸	4320 4070 2520 (可定制)