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产品描述

我司自主研发的高精密环控柜，属于精密环境控制产品，能够实现 ISO Class1-6 级洁净度，以及 ±0.1℃至 ±0.002℃的精密温度波动控制。具备全场景非标定制能力，可满足用户在温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等方面的个性化需求。设备运行数据可实时记录查询，且配备自动安全保护系统，保障设备长期运行可靠。

其构成部分包括设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷（热）系统、照明系统、局部气浴等，主要为光刻机、激光干涉仪等精密测量与制造设备，提供超高精度的温湿度及洁净度工作环境。湿度控制采用 “外环境保证相对湿度、大环境稳定绝对含湿量” 的方式，通过精确控温实现环境仓内部湿度稳定。为达成温湿度及洁净度要求，采用大风量小温差设计，通过空气快速循环过滤带走余热，使温度波动保持在极低数值（关键区域 ±0.002℃）；并通过多级控温（先经表冷盘降温，再由多级电加热逐步升温），将温度精度从 ±0.1℃升级至 ±0.002℃。

设备参数表