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产品描述

高精密环控柜是我司自主研发的精密环境控制产品，可达成 ISO Class1-6 级洁净度控制，并实现 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同等级的温度波动控制。拥有全场景非标定制能力，能根据用户对温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等的个性化需求，提供定制化解决方案。设备支持实时记录和查询运行数据，同时配备自动安全保护系统，确保设备长时间稳定运行。

该设备由主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷（热）系统、照明系统、局部气浴等组成，主要为光刻机、激光干涉仪等精密测量和制造设备，提供超高精度的温湿度及洁净度工作环境。在湿度控制上，通过外环境保证相对湿度、大环境稳定空气中的绝对含湿量，再借助温度的精确控制，实现环境仓内部的湿度稳定。为满足温湿度及洁净度要求，采用大风量小温差设计，通过空气快速循环过滤带走余热，使温度波动维持在极低水平（关键区域 ±0.002℃）；并通过多级控温（先经表冷盘降温，再由多级电加热逐步升温），将温度精度从 ±0.1℃逐步提升至 ±0.002℃。

设备参数表