支持定制

产品描述

作为我司自主研发的精密环境控制系统，其可实现 ISO Class1-6 级洁净度，以及 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精准温度波动控制。具备全场景非标定制能力，能灵活满足用户在温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等方面的个性化需求。设备运行数据可实时记录与查询，且配备自动安全保护系统，确保长期运行无虞。

其核心组成包括设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷（热）系统、照明系统、局部气浴等，主要服务于光刻机、激光干涉仪等精密测量与制造设备，为其提供超高精度的温湿度及洁净度工作环境。系统设计聚焦垂直单向流，利用气流模拟仿真（CFD）技术优化气流分布，从根源上规避涡流与死流问题。在设备内部关键温控区段，多级控温专利技术为温度稳定性提供核心保障；面对关键部件等局部发热场景，局部气浴模块（ABM）则承担精准控温的关键作用。

设备参数表