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产品描述

作为我司自主研发的精密环境控制设备，高精密环控柜可实现 ISO Class1-6 级洁净度，以及 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精准温度波动控制。具备全场景非标定制能力，能灵活满足用户在温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等方面的个性化需求。设备运行数据可实时记录与查询，且配备自动安全保护系统，确保长期运行无虞。

其核心组成包括设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷（热）系统、照明系统、局部气浴等，主要服务于光刻机、激光干涉仪等精密测量与制造设备，为其提供超高精度的温湿度及洁净度工作环境。湿度控制采用 “外环境保障相对湿度、大环境稳定绝对含湿量” 的策略，通过精准控温确保仓内湿度达标。为实现高精度，采用大风量小温差设计，通过空气快速循环过滤带走余热，使关键区域温度波动低至 ±0.002℃；同时通过多级控温（先经表冷盘降温，再由多级电加热逐步升温），将温度精度从 ±0.1℃提升至 ±0.002℃。

设备参数表