支持定制

产品描述

高精密环控柜是我司自主研发的精密环境控制产品，可达成 ISO Class1-6 级洁净度控制，并实现 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同等级的温度波动控制。拥有全场景非标定制能力，能根据用户对温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等的个性化需求，提供定制化解决方案。设备支持实时记录和查询运行数据，同时配备自动安全保护系统，确保设备长时间稳定运行。

该设备由主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷（热）系统、照明系统、局部气浴等组成，主要为光刻机、激光干涉仪等精密测量和制造设备，提供超高精度的温湿度及洁净度工作环境。为优化气流状态、避免涡流与死流，该系统采用垂直单向流设计，并通过气流模拟仿真（CFD）对气流分布做针对性优化。设备内部关键温控区域的温度稳定性，通过多级控温专利技术得以实现；针对关键部件等局部发热区域，专门配置局部气浴模块（ABM），确保精准控温。

设备参数表