支持定制

产品描述

我司自主研发的高精密环控柜，属于精密环境控制产品，能够实现 ISO Class1-6 级洁净度，以及 ±0.1℃至 ±0.002℃的精密温度波动控制。具备全场景非标定制能力，可满足用户在温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等方面的个性化需求。设备运行数据可实时记录查询，且配备自动安全保护系统，保障设备长期运行可靠。

其构成部分包括设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷（热）系统、照明系统、局部气浴等，主要为光刻机、激光干涉仪等精密测量与制造设备，提供超高精度的温湿度及洁净度工作环境。以垂直单向流为核心设计方向，该系统通过气流模拟仿真（CFD）优化气流布局，有效避免涡流和死流产生。关键温控区作为设备内部核心区域，其温度稳定性由多级控温专利技术实现精准把控；对于关键部件等易局部发热的部位，则采用局部气浴模块（ABM）开展精准控温。

设备参数表