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产品描述

高精密环控柜由我司自主研发，是一款精密环境控制产品，可实现 ISO Class1-6 级洁净度，以及 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的温度波动控制。拥有全场景非标定制能力，能针对用户的个性化需求（如温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等）提供解决方案。设备运行数据实时记录查询，且配备自动安全保护系统，确保长时间运行无忧。

该设备由主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷（热）系统、照明系统、局部气浴等组成，为光刻机、激光干涉仪等精密测量与制造设备，提供超高精度的温湿度及洁净度工作环境。湿度控制的核心逻辑是：由外环境保证相对湿度，大环境控制空气中的绝对含湿量稳定，再通过温度精确控制实现环境仓内部湿度稳定。为满足要求，采用大风量小温差设计，通过空气快速循环过滤带走余热，使关键区域温度波动低至 ±0.002℃；并通过多级控温（先表冷盘降温，再多级电加热逐步升温），将温度精度从 ±0.1℃逐步提升至 ±0.002℃。

设备参数表

额定电压	380VAC 50HZ
温度稳定性	±0.002℃
局部气浴温度稳定性	±0.002℃
洁净等级	ISO Class5
噪音	<55dB
外形尺寸	4320 4070 2520 (可定制)