支持定制

产品描述

我司自主研发的高精密环控系统，作为一款精密环境控制产品，能够实现 ISO Class1-6 级洁净度控制，以及 ±0.1℃至 ±0.002℃等不同等级的温度波动控制。凭借全场景非标定制实力，可针对用户的个性化需求（如温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等）提供定制方案。设备支持实时记录与查询运行数据，搭配自动安全保护系统，保障长时间可靠运行。

该设备由主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷（热）系统、照明系统、局部气浴等部分构成，主要为光刻机、激光干涉仪等精密测量与制造设备，营造超高精度的温湿度及洁净度环境。该系统采用垂直单向流设计，利用气流模拟仿真（CFD）优化气流分布，避免涡流死流；在设备内部关键温控区，通过多级控温专利技术实现关键区域温度稳定性的控制；针对关键部件等局部发热区域，采用局部气浴模块（ABM)精准控温。

设备参数表