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产品描述

我司自主研发的高精密环控柜，作为一款精密环境控制产品，能够实现 ISO Class1-6 级洁净度控制，以及 ±0.1℃至 ±0.002℃等不同等级的温度波动控制。凭借全场景非标定制实力，可针对用户的个性化需求（如温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等）提供定制方案。设备支持实时记录与查询运行数据，搭配自动安全保护系统，保障长时间可靠运行。

该设备由主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷（热）系统、照明系统、局部气浴等部分构成，主要为光刻机、激光干涉仪等精密测量与制造设备，营造超高精度的温湿度及洁净度环境。在湿度控制上，通过外环境保证相对湿度、大环境稳定绝对含湿量，再借助温度精确控制实现仓内湿度稳定。为达成高精度要求，采用大风量小温差设计，通过空气快速循环过滤带走余热，将关键区域温度波动控制在 ±0.002℃；并通过 “表冷盘降温 + 多级电加热逐步升温” 的多级控温方式，将温度精度从 ±0.1℃依次升级至 ±0.002℃。

设备参数表