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产品描述

这款高精密环控柜是我司自主研发的精密环境控制产品，可实现 ISO Class1-6 级洁净度，以及 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密温度波动控制。具备全场景非标定制能力，能满足用户在温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等方面的不同个性化需求。设备运行数据可实时记录查询，同时配备自动安全保护系统，保障设备长期稳定运行。

其主要构成包括设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷（热）系统、照明系统、局部气浴等，主要为光刻机、激光干涉仪等精密测量与制造设备，提供超高精度的温湿度及洁净度工作环境。在湿度控制上，采用 “外环境保证相对湿度、大环境稳定绝对含湿量” 的方式，通过精确控温实现环境仓内部湿度稳定。为满足温湿度及洁净度要求，采用大风量小温差设计，通过空气快速循环过滤带走余热，使温度波动维持在极低水平（关键区域 ±0.002℃）；并通过多级控温（先经表冷盘降温，再由多级电加热逐步升温），将温度精度从 ±0.1℃升级至 ±0.002℃。

设备参数表

额定电压	380VAC 50Hz
温度稳定性	±0.002℃
洁净等级	ISO Class5
噪音	待机时内部噪音36db(A计权),运行时内部噪音41db(A计权)，外部实验室噪音65dB
外形尺寸	5232mm3862mm3051mm