支持定制

产品描述

这款高精密环控系统是我司自主研发的精密环境控制产品，可实现 ISO Class1-6 级洁净度，以及 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密温度波动控制。具备全场景非标定制能力，能满足用户在温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等方面的不同个性化需求。设备运行数据可实时记录查询，同时配备自动安全保护系统，保障设备长期稳定运行。

其主要构成包括设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷（热）系统、照明系统、局部气浴等，主要为光刻机、激光干涉仪等精密测量与制造设备，提供超高精度的温湿度及洁净度工作环境。该系统选用垂直单向流架构，借助气流模拟仿真（CFD）对气流分布进行优化，杜绝涡流与死流现象。设备内部关键温控区域，依托多级控温专利技术保障温度稳定性；针对关键部件等局部发热部位，搭配局部气浴模块（ABM）达成精准控温效果。

设备参数表

额定电压	380VAC 50Hz
温度稳定性	±0.002℃
洁净等级	ISO Class5
噪音	待机时内部噪音36dB(A计权),运行时内部噪音41dB(A计权)，外部实验室噪音65dB
外形尺寸（mm）	5232 3862 3051