极测（南京）技术有限公司为国际半导体龙头企业提供的精密环控设备近日顺利通过验收
发布时间：
2025-03-18
极测（南京）技术有限公司在超精密环境控制领域取得重要突破，为半导体、光学计量等产业提供了全新的技术基础设施。
近日，南京拓展科技旗下企业，极测（南京）技术有限公司为国际半导体龙头企业提供的精密环控设备顺利通过验收，该方案中的精密环控设备凭借卓越的性能精准满足了客户对超精密环境控制的需求，在温湿度稳定性、洁净度维持等关键指标上树立行业新标杆。
目前已拥有结合全场景非标定制能力，可满足用户不同环境参数及使用需求，比如温湿度稳定性、洁净度，抗微振、防磁、隔音等不同个性化需求。现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板领军企业与国家重点实验室，应用于众多科研与生产场景。
作为我司核心产品，精密环控设备中的精密环控柜集自主研发技术与模块化设计于一体，由设备主柜体、智能控制系统、多级气流循环系统、高效洁净过滤器、精准制冷（热）机组、自适应照明系统及局部气浴等七大功能模块构成，专为光刻机、激光干涉仪等高端装备提供超高精密的环境保障。
【核心技术创新点】
► 突破性温控表现
· 关键区域温度稳定性±2mK（静态），全域温度均匀性＜16mK/m
· 搭载自主研发的高精密控温技术，控制输出精度达0.1%
· 湿度稳定性±0.5%@8h，压力波动＜±3Pa
· 支持22.0°C基准温度自由设定，持续稳定运行＞144h
► 极致洁净保障
· 工作区洁净度最高达ISO class3标准
· 百级/十级/一级洁净环境自由切换
► 智能物联系统
· 环境参数实时可视化曲线分析
· 全周期数据自动存储/导出功能
· 运行状态与故障事件双重日志记录
► 柔性工程架构
· 模块化铝合金框架支持现场快速组装
· 定制化钣金箱体适配工业美学需求
► 静音高效运行
· EC变频风机系统节能30%以上
· 复合隔音材料实现＜45dB超低噪
► 多重安全防护
· 7×24小时智能故障诊断系统
· 声光报警+远程协同处置机制
该系统的成功应用标志着极测（南京）技术有限公司在超精密环境控制领域取得重要突破，为半导体、光学计量等产业提供了全新的技术基础设施。
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