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极测高精密环控：空气・水・气体三条路径全覆盖，为先进制造提供高精密温控

发布时间：

2026-07-20

极测（南京）技术有限公司深耕高精密环境控制领域，以高精密环境控制设备、高精密冷水机组、高精密气体温控机三大产品系列，形成对空气、水、气源气体三类介质的精密控制体系。为半导体、精密光学、量子计算等尖端行业提供最高±0.002℃空气温控、到±0.002℃出水温控、±0.01℃气源气体温控的全场景解决方案。

先进制造对环境的依赖从未像今天这样深刻。在半导体光刻、超精密加工、高能物理实验等场景中，微小的温度波动可能意味着芯片良率的断崖式下降，湿度的偏移足以让光学测量前功尽弃。环境控制早已不是辅助设施，而是决定核心工艺成败的基础保障。

极测（南京）技术有限公司正是面向这一需求而生的高精密环控系统解决方案供应商。公司的产品逻辑清晰而完整：先进制造场景中需要精准控制的空气、水和气体三类介质，围绕这三条路径逐一构建极致性能的产品线，最终形成彼此协同、覆盖全域的高精密环控产品组合。

在空气环境控制路径上，极测的高精密环控系统UPECS是面向核心机台、实验台及局部洁净腔的系列产品。其空气温度稳定性最高可达 ±0.002℃，湿度稳定性达到 ±0.1% RH，同时可营造 ISO Class 1 级别的洁净环境，运行噪音控制在 45 分贝以下。这套系统不是简单的空调升级，而是一套融合精密温度、湿度、过滤净化和气流组织的完整闭环，为最敏感的核心制程提供稳定的微环境。

在水路温控路径上，极测的高精密冷水机Chiller承担着为设备提供稳定冷源的关键角色。出水温度稳定性同样达到 ±0.002℃，温区覆盖 5℃至 35℃等不同配置需求。无论是为激光器、刻蚀机等发热密集设备带走热量，还是为工艺槽提供恒温循环，都能维持水温的极致稳定，让下游设备不必担心热扰动带来的精度漂移。

在气体温度控制路径上，极测的高精密气体温控机填补了工艺气体领域对高精密温控的需求空白。设备的气体出口温度稳定性最高可达 ±0.01℃，处理流量范围覆盖 50~2000 L/min（可定制）。避免半导体工艺中压缩空气、氮气在进入工艺腔体时温度波动带来的负面影响。

三条路径看似独立，实则在精密制造场景中高度耦合。一台光刻机既需要空气环境控制维持腔体周围的洁净和恒温，又需要冷水机带走光源和运动部件的热量，同时需要气体温控确保吹扫气体温度不干扰光学系统。极测的产品组合正是为了应对这类多重耦合需求而一体化设计的，使客户不需要在三个环节分别寻找不同供应商，而是获得一套从空气到水路再到气路、性能高度一致的完整环控方案。

极测可实现空气稳定性 ±0.002℃，出水温度稳定性 ±0.002℃，气源气体稳定性±0.01℃。这些不是在实验室的理想值，而是交付到客户现场、在连续运行中维持的工程指标。背后支撑的是自研的控制算法、精密传感选型、抗振降噪系统设计等综合技术积累 —— 这正是极测作为高精密环控系统专业厂商的底层壁垒。