国产精密环控技术实现ISO 1级洁净环境赋能半导体智造
发布时间：
2025-03-18
极测（南京技术有限公司）为不同规模的晶圆厂、量测设备供应商提供定制化的精密环境解决方案，覆盖设备内置微环境控制的多元场景，助力国产半导体产业链突破"环境卡脖子"难题。
在半导体制造领域，光刻机与量测设备对生产环境的洁净度要求堪称严苛。以光刻工艺为例，其作为芯片图形转印的核心环节，对空气中0.1微米级颗粒的容忍度近乎为零。而半导体量测设备作为制造流程的"质量守门员"，同样依赖超高洁净环境以确保纳米级检测精度。
根据国际标准ISO 14644-1，洁净环境等级按单位体积内悬浮粒子数严格划分：
ISO 1级：每立方米≥0.1μm颗粒物≤10个
ISO 3级：每立方米≥0.1μm颗粒物≤100个 此类极限洁净要求，成为制约高端芯片良率与设备稳定性的关键因素。
✅ 温度波动≤±2mK（静态工况）
✅ 洁净度稳定维持ISO 1级（局部优于ISO class 1）
✅ 湿度偏差＜±0.5%@8h
✅ 持续无故障运行
✅ 洁净度稳定维持ISO 1级（局部优于ISO class 1）
✅ 湿度偏差＜±0.5%@8h
✅ 持续无故障运行
目前，高精密环控设备所具备的技术已应用于国内多家半导体头部企业的光刻区环境控制项目。极测（南京技术有限公司）还可为不同规模的晶圆厂、量测设备供应商提供定制化的精密环境解决方案，覆盖设备内置微环境控制的多元场景。极测高精密 环控设备助力国产半导体产业链突破"环境卡脖子"难题。
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HCC100 高精密环境控制设备
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